1 利用中央空調凈化系統對潔凈區的消毒 在制藥廠，一般來說，潔凈區面積較大，多用中央空調凈化系統完成對各潔凈區的凈化消毒。傳統的消毒方法是用甲醛等化學藥劑熏蒸，化學藥劑熏蒸的弊端很多，用臭氧消毒來代替是一個好辦法。其方法是將臭氧發生器直接安裝在空調凈化系統的送、回風主管道中或組合式空調器的中效過濾器后送風，這種形式稱為內置式臭氧發生器。臭氧隨著凈化風送入各潔凈區，對潔凈區進行消毒。但由于氧氣放電是一個放熱過程，發生器介電材料抗熱沖擊性能的局限性，限制了發生器工作時產生的熱積累量不能過高。無論對發生器本身的壽命還是對O產量來說都要求發生器的溫度越低越好.可以將臭氧發生器放在凈化系統送、回風管道的外面，將自凈的臭氧化氣體充入HVAC系統的風道中，然后被送到各潔凈室，這種形式稱為外置式臭氧發生器。外置式臭氧發生器安裝維修方便，并可用于防爆環境，符合防爆要求，但成本稍高。按照衛生部消毒規范的要求，對空氣消毒的臭氧濃度是2～5ppm，但事實上，潔凈區的消毒不僅是對空氣消毒，還包括對物體表面的消毒，所以設計濃度應為10～ 15ppm，完全可以替代紫外照射和化學熏蒸消毒。每日做空氣滅菌只需開機1～1.5h左右，即可達到潔凈室的滅菌目的，同時對HVAC系統起到殺滅雜菌和霉菌的效果，實踐證明，臭氧還能對高效過濾器起到溶菌疏導作用，延長其使用壽命。

2 密閉空間的消毒 對于中央凈化空調系統以外的潔凈室如化驗室或需要消毒的其它房間則需要單獨進行消毒處理。方法是選用適當型號的臭氧發生器，直接安裝在房間內，根據需要設定消毒時間，消毒結束后自動關機，使用非常方便。對于有潔凈度要求的房間，機內裝有過濾器，使臭氧發生器具有自潔凈功能。臭氧濃度按10～20ppm設計。

3 管道容器的消毒 在藥品生產中，各類容器用的很多，分別用管道閥門聯結起來，組成一個個生產單元。對它的消毒，傳統方法是用濕熱滅菌或其他化學方法進行。反應罐、貯存罐小的一噸半噸，大的十噸幾十噸，用濕熱或化學方法消毒，運行費用高，對環境也有影響?，F在用臭氧消毒來代替，相對來說要省事的多。具體方法是:將高濃度的臭氧直接打入管道容器，保持臭氧尾氣有一定的濃度，就可以達到消毒滅菌的要求。因為是對管道容器進行內表層的消毒，所以臭氧濃度用的要高一點，設計濃度應大于50ppm。用臭氧對管道容器作消毒滅菌的優點非常明顯，臭氧發生器可以流動使用，對不同的罐消毒，每個單元在每次換料前，都可以及時得到消毒，使用效率很高，也不需要傳統方法的酒精、氮氣、高壓蒸汽等。所以在制藥廠能得到推廣。

4 物體表面的消毒滅菌 在藥品生產過程中，常常要對原輔材料、包裝器具、包裝材料、工作服等進行表面消毒，常常使用消毒柜。傳統的方法是用紫外線燈照射，問題在于消毒不徹底，在使用要求不高的場合是可以的，但不如臭氧的效果好。用臭氧發生設備做成的消毒柜在制藥行業使用是可靠的。臭氧濃度可以設計的高一點，可以達到100ppm以上，此類設備還可以做成負壓吸引和正壓脈動形式，促進臭氧化氣體滲透滅菌。

5 藥廠用水的消毒滅菌 在制藥廠用水的地方較多，有醫藥用水、消毒用水、清洗用水及飲用水等。根據不同的水質要求，采用不同的工藝流程，消毒工藝則用一般的臭氧水處理方法即可達到滿意的效果 。

6 臭氧在防爆環境中的應用 利用臭氧發生器生產一定濃度的臭氧化氣，充入防爆環境以及具有防爆要求的容器、管道及設備中消毒滅菌。臭氧發生設備是用自潔凈化的潔凈空氣輸入臭氧發生室，生產出400ppm以上濃度的臭氧化氣，輸入待消毒的設備、環境中，在排除尾氣大于20ppm濃度條件下，保持40～60min，完全可以滿足滅菌要求。